内容摘要:
网版印刷电极的总结利用两套印刷平台同时进行硅片的上下料、位置检测以及印刷,两台面交替工作保证了设备高产能。同时,印刷平台在上下料工位和印刷工位之间的运动只有一个机械自由度,可以充分利用现有精度高的直线运动单元超高重复性定位精度的技术优势,满足电池片电极的高定位 精度印刷要求。此外,相机系统位于上下料工位上方,可以直接识别电池片蓝色受光面上的工艺图形,进而可以实现根据工艺图形位置进行定位印刷。印刷平台上的硅片在印刷前的上料和印刷后的下料都在同一个上下料工位完成,可以利用一套视觉系统分别完成硅片印刷前上料后的破片外形检测、硅片位置或硅片上现有图形的位置检测,以及硅片印刷后的破片外形检测、硅片上电极印刷图形的检测(包括位置精度、断栅,网版图形等),从而实现更多的检测功能,并借助印刷后检测 结果实现对印刷工艺的监控等功能(如通过监测网版的形变量提示网版更换周期,以及通过二次印刷不同位置栅线的宽度监......
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