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内容摘要：
洁净室检测送风的过滤 洁净室空调送风系统的末端装置—―过滤器(HEPA)或超空气过滤器(ULPA)，在正常情况下能有效过滤经空调机组处理后的新风和回风中的颗粒污染物。经、超空气过滤器处理后的洁净空气送入室内，可有效地排替、冲淡室内污染物，以维持室内的洁净度。但末级过滤器如有破损和过滤器与支撑框架间的密封出现裂隙，气密性失效，那么末级过滤器过滤的空气就可能携带大量污染粒子进入室内并随气流扩散......
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