内容摘要:
? ? 化学法中,西门子法(Siemens process)广为早期生产半导体级多晶硅的业者所采用,此法技术成熟但成本较高。除西门子法外,尚有ASiMi法、流体床反应法与管状沉积法等。ASiMi法是Advanced Silicon Material (ASiMi)公司所研发,系利用硅(silane/ SiH4)为原料的高纯度多晶硅制程技术。2005年ASiMi宣布退出多晶硅市场,大部分股权由挪威R......
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