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内容摘要：
PR1-1000A1NR9-3000PY 负性光刻胶负胶 NR9-3000PY 被设计用于i 线（365 nm）曝光，可使用如步进光刻、扫描投影式光刻、接近式光刻和接触式光刻等工具。显影之后，NR9-3000PY 展现出一种倒梯形侧壁，这可以方便地作单纯的LIFT-OFF 处理。NR9-3000PY 相对于其他光刻胶具有如下优势：- 优异的分辨率性能- 地显影- 可以通过调节曝光能量很容易地调节倒梯形侧壁的角度- 耐受温度100℃- 室温储存保质期长达3 年Lift-Off工藝應用領域：LEDs，OLEDs，NR9 3000PY光刻胶，displays，MEMS，packaging，biochips。濕法蝕刻，鍍 干法蝕刻（RIE/Ion Milling/Ion implantation）附着力好Temperature resistance = 100°C 耐高溫Temperatu......
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