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内容摘要:
正性光刻胶的结构光学光刻胶通常包含以下三种成分:(1)聚合物材料(也称为树脂)。聚合物材料在光的辐照下不发生化学反应,其主要作用是保证光刻胶薄膜的附着性和抗腐蚀性,同时也决定着光刻胶薄膜的其他一些特性(如光刻胶的膜厚要求、弹性要求和热稳定性要求等)。(2)感光材料。感光材料一般为复合性物质(简称PAC或感光剂)。感光剂在受光辐照之后会发生化学反应。正胶的感光剂在未曝光区域起抑制溶解的作用,可以减慢光刻胶在显影液中的溶解速度。以正性胶为例,使用g射线和i射线光刻中的正性胶是由重氮醌(简称为DQ)感光剂和酚树脂构成。(3)溶剂(如丙二醇-,PR1 2000A1光刻胶报价,PGME)。溶剂的作用是使光刻胶在涂覆到硅片表面之前保持为液态想了解更多关于光刻胶的相关资讯,请持续关注本公司。 光刻胶主要用于图形化工艺以半导体行业为例,光刻胶主要用于半导体图形化工艺。图形化工艺是半导体制造过程中的......
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