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内容摘要：
?位移台精密定位在微观领域研究是重要技术之一，其技术水平直接影响到微观领域的研究水平。随着微观领域中纳米技术、激光技术、精密机械技术、微电子技术和生物医学技术等研究的不断深入，对精密定位技术水平的要求也越来越高。? ? ? 现在精密定位技术得到了广泛的应用。例如：? ? ?计量型紫外光学显微镜中，用于掩膜版的线宽测量；? ? ?原子力显微镜中，用于测量样品表面微观形貌以及进行纳米加工；? ? ?激......
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