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内容摘要：
用作压阻式传感器的基片材料主要为硅片和锗片，位置传感器，硅片为敏感材料而制成的硅压阻传感器越来越受到人们的重视，尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用为普遍。电阻式传感器是将被测量，传感器，如位移、形变、力、加速度、湿度、温度等这些物理量转换式成电阻值这样的一种器件。压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。其基片可直接作为测量传感元件，扩散电阻在基片内接成电桥形式。 智能传感器是一个相对独立的智能单元，气压传感器，它的出现对原来硬件性能苛刻要求有所减轻，而靠软件帮助可以使传感器的性能大幅度提高。传感器的转换元件将敏感元件输出的物理量信号转换为电信号；变换电路负责对转换元件输出的电信号进行放大调制；转换元件和变换电路一般还需要辅助电源供电。利用激光技术进行测量的传感器。它由激光器、激光检测器和测量电路组成。激光传感器工作时，先由激光发射......
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