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内容摘要：
过滤阴极弧：过滤阴极电弧(FCA )配有的电磁过滤系统，可将离子源产生的等离子体中的宏观粒子、离子团过滤干净，经过磁过滤后沉积粒子的离化率为，并且可以过滤掉大颗粒， 因此制备的薄膜非常致密和平整光滑，具有抗腐蚀性能好，与机体的结合力很强。 磁控溅射：在真空环境下，通过电压和磁场的共同作用，以被离化的惰性气体离子对靶材进行轰击，致使靶材以离子、原子或分子的形式被弹出并沉积在基件上形成薄膜。根据使用的电离电源的不同，导体和非导体材料均可作为靶材被溅射。 精密冲压模具经纳米PVD涂层涂覆后表面可拥有极低的摩擦系数，减少加工受力。模具经纳米PVD涂层涂覆后表面硬度可提高5到10倍，可大幅减少表面磨耗，特別是用于高精密加工时可获得非常优异的表面质量。冷冲成形及拉伸模具经纳米涂层涂覆后可显著降低摩擦力，明显减少加工中产生的刮痕及磨耗。因此可增加寿命，大幅降低生产成本。卷绕......
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