内容摘要:
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导......
如想进一步了解更多产品内容,可以直接给厂家发送询价表单咨询:
|
|
联系方式
 电话: 0512-63323138 手机:15995500316
 传真: 0512-63323138
 地址: 苏州吴江市同里镇经济开发区
 发布IP: (IP所在地:)
|