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内容摘要：
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，无尘净化车间，冷却水管壁上会结露，洁净室净化车间，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。10级：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级，并且我国半导体技术也在发展之中，在未来对洁净度的要求更加高。 布置工艺......
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