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内容摘要：
纳米级电容位移传感器的原理纳米级电容位移传感器电容位移传感器的原理是利用力学变化使电容器中其中的一个参数发生变化的方法实现信号的变化的。电容位移传感器由目标和探针两个传感板组成电容器。当电容器之间的距离发生改变时，电容器的电容量就会发生改变，使用适当的控制器就会测出两个传感板距离的变化。纳米级电容位移传感器是非接触式位置测量系统。该系统由目标和探针两个传感板组成电容器。当电容器之间的距离发生改变时，电容器的电容量就会发生改变，使用适当的控制器就会测出两个传感板距离的变化。电容位移传感器拥有极高的灵敏度分辨率可由于0.1nm，频带宽可达到10KHz，北京光纤传感器，直线性可到达0.02%。由于传感器是一种非接触式的精密测量系统，因此还拥有无摩擦，无迟滞等特点。 电容位移传感器测量轴瓦厚度电容位移传感器测量轴瓦厚度滑动轴承主要在以下场合使用：1.工作转速很高，如汽轮发电机。2.要求对轴......
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