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内容摘要：
传感器元件由Si制成的固定电极、可动电极和弹簧构成传感器元件由Si制成的固定电极、可动电极和弹簧构成。未施加加速度的状态下，固定电极和可动电极间的距离相同。施加加速度，则可动电极移位。由此与固定电极的位置关系发生变化，电极间容量发生变化。容量的变化通过※ASIC转化为电压，算出加速度。电阻检测型将分流电阻引发的电压降转换为电流。安装简单而且价廉物美，操作简单，但缺点是电阻上的功率损耗会产生较大的发热量。磁场检测型＜有铁芯＞根据电流线中流动的电流测量铁芯中产生磁场的大小，以此来测量电流值。这种方法无需接触，功率损耗较小，但铁芯较大，存在贴装面积大的课题。 电容式指纹传感器的价格相当昂贵由于检测电路中的元件数量较多，电容式指纹传感器的价格相当昂贵。一些早期的实验试图通过「滑动」扫描仪来减少所需的电容器数量，他们将通过在手指滑过传感器时刷新结果来从较少数量的电容器组件中收集数据。但这种方......
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