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内容摘要：
NR77-20000P正胶PR1-2000A1技术资料正胶PR1-2000A1是为曝光波长为365 或者436纳米，可用于晶圆步进器、扫描投影对准器、近程打印机和接触式打印机等工具。PR1-2000A1可以满足对附着能力较高的要求，RD6光刻胶，在使用PR1-2000A1时一般不需要增粘剂，如HMDS。相对于其他的光刻胶，PR1-2000A1有如下的一些额外的优势：PEB，不需要后烘的步骤；较高的分别率；显影；较强的线宽控制；蚀刻后去胶效果好；在室温下有效期长达2年。 光刻胶介绍光刻胶自1959年被发明以来一直是半导体材料，随后被改进运用到PCB板的制造，并于20世纪90年代运用到平板显示的加工制造。终应用领域包括消费电子、家用电器、汽车通讯等。光刻工艺约占整个芯片制造成本的35%，耗时占整个芯片工艺的40%~60%，是半导体制造中的工艺。以半导体光刻胶为例，在光刻工艺中，光刻胶被......
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