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内容摘要：
反转磁控溅射刻蚀在一般的磁控放电设备中，接地钢带作为阴极(图6。在带材将要镀膜的一面布置一个空心阳极，在基底背面布置一个磁场系统。这种设备在带材表面产生强度约为25mT的磁场。磁控放电直接在金属化基底表面点火。利用离子冲击获得的刻蚀率可以和从磁控源获得的溅射率相比。为了确保稳定的运行，和用于磁控技术中相似的中频电源用于溅射刻蚀工作站。电流密度可以达到约10mA/cm^2。在钢带处理的特殊情况下，需要考虑磁场为对带材运行的影响和钢带附近的磁场的屏蔽。稳定的钢带通过量利用辊子对带的引导来获得。通过利用由稀土磁体组成的磁场系统，可以在厚度为0.9的钢带表面保持稳定的磁控放电。可以观察到对钢带的刻蚀率达到15～20nm/s。 东西镀的意图首要是为了进步工件的外表硬度和性，降低外表的摩擦系数，进步工件的使用寿命；这方面首要使用在各种刀剪、车削刀具（如车刀、刨刀、铣刀、钻头等等）、各种五......
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