内容摘要:
反转磁控溅射刻蚀在一般的磁控放电设备中,表面镀钛厂家电话,接地钢带作为阴极(图6。在带材将要镀膜的一面布置一个空心阳极,在基底背面布置一个磁场系统。这种设备在带材表面产生强度约为25mT的磁场。磁控放电直接在金属化基底表面点火。利用离子冲击获得的刻蚀率可以和从磁控源获得的溅射率相比。为了确保稳定的运行,和用于磁控技术中相似的中频电源用于溅射刻蚀工作站。电流密度可以达到约10mA/cm^2。在钢带处理的特殊情况下,需要考虑磁场为对带材运行的影响和钢带附近的磁场的屏蔽。稳定的钢带通过量利用辊子对带的引导来获得。通过利用由稀土磁体组成的磁场系统,装饰镀钛厂家电话,可以在厚度为0.9的钢带表面保持稳定的磁控放电。可以观察到对钢带的刻蚀率达到15~20nm/s。 显然,锌合金膜微观结构的形成取决于如相互内部扩散的动力学和成核现象以及金属间相的形成。因此,家具镀钛厂家电话,将得到不同的膜......
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