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内容摘要：
电弧增强辉光放电刻蚀这个模块的设计原理和溅射刻蚀模块的设计原理相似(图8。取代在基底背面的磁控系统的是与空心阳极底部结合的电弧蒸发器，家具镀钛厂家怎么收费，电板蒸发器利用挡板与基底隔开。在基底附近的附加电极收集来自挡板后面的电弧等离子体的电子。这些电子在基底附近产生一个强且宽的等离子体。等离子体的密度可以轻易地利用蒸发器的电流和附加电极来控制。在操作中，金属镀钛厂家怎么收费，与在反转磁控溅射情况下相同的直流或中频电源可以用于提供空心阳极的偏压。在初步的试验中，已经发现对于钢带的刻蚀率在12nm/s的级别内，并且仅使用了溅射刻蚀模块所需偏压电源的一半。 等离子清洗方法和结果一个适当设计的湿法化学表面清洗方案通常对接下来的湿法化学镀膜或者如电镀锌或磷化的处理步骤是足够的。然而，关于如前面章节中描述的PVD工艺必须直接用于锌表面的联合方法，必然会遇到新的需求。例如，金属表面镀钛厂家......
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