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内容摘要：
由于无尘室的平面和空间布置特殊，在进行各项技术设施的系统设计、设备配置时应特别注意按规定选用符合要求的系统和设备。无尘室FFU控制方式的选择：多档开关控制系统：此系统只包括FFU自带的一个调速开关和一个电源开关。由于控制元件为FFU自带，分布在洁净室吊顶内的各个位置，工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节FFU，控制起来极不方便，而且FFU的风速可调范围有限，于几档。 无尘室需要注意的细节问题：风管......
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