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电子束与样品作用体积(interactionvolume)的分析特征X的方式,可分析特征X的能量分布,称为EDS,或分析特征X的波长,称为WDS。X能谱的分辨率,在EDS中约有100~200eV的分辨率,在WDS中则有5~10eV的分辨率。由于EDS的分辨率较WDS差,因此在能谱的解析上,较易产生重迭的情形。由于电子束与样品作......
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