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在物镜的级靴附近加设一个特殊的附加静电装置在物镜的级靴附近加设一个特殊的附加静电装置,用来同时汇集一次电子并提取二次电子,再加上物镜顶部环形探测器接收的面积大,灵敏度高,在短工作距离下能明显改善图像的信噪比和提高分辨力。采用透镜内探测器或安装在物镜上方的探测器,都能明显改善低加速电压和短工作距离时的图像信噪比和分辨力。在WD较......
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