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内容摘要：
尘埃粒子数/洁净度检测按照检测操作流程和规范，使用红外线粒子计数器对洁净室或洁净区域进行尘埃颗粒的检测，取样点分布和取样次数应该根据面积空间大小合理进行检测，得出数值判定属于哪个洁净等级。检测开始前确保洁净室已经到达足够的自净时间，静态检测时避免减少人员走动。高l效过滤器整性检测高l效空气过滤器是洁净室净化系统的末......
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