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内容摘要：
SIMCO-ION思美高/离子风机/离子风棒5635AeroBarMPSIMCO-ION思美高/离子风机/离子风棒5635 AeroBar MP■ワールドワイドにて類の採用実績を有する単結晶シリコンは超低パーティクル特性と伴に材料によるメタル汚染リスクを回避■独自のMP(パルス変調)方式により、イオンを効率よくターゲトに運ぶ高い除性能■100mm距離にても使用可能な小位スイング特性及びバー......
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