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内容摘要：
微纳光刻加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。对于有掩膜光刻，首先需要设计光刻版，常用的设计软件有CAD、L-edit等软件。光刻胶所属的微电子化学品是电子行业与化工行业交叉的领域，......
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