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内容摘要：
MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，刻蚀微纳加工代工，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，阳极键合微纳加工代工，以及行业应用技术开发。微纳制造技术研发和应用标志着人类可以在微、纳米尺度认识和改造世界。随着聚合物精密挤出成型技术......
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