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内容摘要:
微纳光刻加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。接触式光刻机的掩模版包括了要到衬底上的所有芯片阵列图形。光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成......
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