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内容摘要：
MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。未来几年微纳制造系统和平台的发展前景包括的方面：（1）微纳制造系统的设计、建模和；微纳加工技术具有、科技含量高、产品附加值高等特点，......
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