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内容摘要：
半导体行业的密封件和垫圈需要非同寻常的材料，而全氟醚橡胶的高纯度和对等离子体、热和刺激性化学品的极高耐受性为半导体制造如等离子处理、热处理及湿法工艺等生产装置的密封提供了出色解决方案，可延长密封寿命，减少污染，进而提高晶圆产量，降低生产成本。由于全氟醚FFKM橡胶原材料成本高昂，通常选用全氟醚FFKM密封的工况极为苛刻，三元乙丙O型圈报价，其他橡胶原料无法满足这些苛刻工况下的密封要求，三元乙丙O型......
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