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内容摘要：
关于净化车间的发展情况首代净化(1962年以前)，这时候的净化车间主要是采用“紊乱”的气流组织形式，空气经过三级过滤送入室内，可使室内的空气洁净度达到美国联邦标准的万级和十万级程度。第二代净化(1962年至现在)这时候的净化车间采用“层流”的气流组织形式，解决室内污染物因气流紊乱流动而引起的相互干扰问题。同时由于室内自身具有较强的自净能力，可以获得良好的洁净度，达到美准100级。至于第三代净化将会出现什么形式呢我们还未见到实例。但从当前情况看，洁净技术的飞跃发展，已经出现各种气流组织形式，洁净设备和调试仪器，洁净、台式空气净化器、装配式层流洁净室、充气洁净室、密闭工艺生产线等等。今后随着生产技术向着超精密、超微型化方向发展，可以预料那时的微细加工不再是现在采用的紫外线曝光，而是电子束和X射线的加工，因此对空气洁净度将有更高的要求，完全有可能比现在的洁净标准还要高，对净化的颗粒之径......
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