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净化工程的未来发展走向 净化工程的未来发展走向 我国的洁净技术和设备与国外相比差距是明显的，我国1965年才开始生产的HEPA过滤器，硫酸镁净化板，比国外了十五年。1975年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比国外晚了二十年。0.1微米洁净技术和设备在国际上已成为成熟技术，我国则刚刚起步。 对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的是集成电路。而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志 洁净技术又称为生产环境和污染控制技术，是近些年随着高新技术发展起来的一门综合性的新兴科学技术。洁净技术通常包括：空气净化技术、......
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