内容摘要:
缓冲洁净室压差的检测要求应监测开关门后压差恢复的情况,洁净工作台检测,确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些(开关门)常规压差变化,以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估:1.关闭所有的门和传递窗,定义所有设备的运行状态,观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差,注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动;2.每个缓冲间、传递窗或转移舱,打开所有的门,一次打......
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