北京微纳光科仪器（集团）有限公司

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主营产品：真空仪器，平移台，位移台，滑台，机械臂等

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内容摘要：真空系统特点真空系统自启动后，低温转台，全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中，真空系统内各处的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始终在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。使用螺杆真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵及水环真空泵真空系统能达到较佳流程工艺头台真空泵启动后达不到设定所需真空时第二台真空泵启动至达到设定的......

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