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内容摘要：
真空系统该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道，真空调整台厂家，即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由的PLC控制系统经过编程后组成，以触摸屏为人机界面，真空调整台价格，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系......
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