内容摘要:
洁净室检测结果评定 1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限,即A≤级别界限,则判符合规定。(采样点>9个) 2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限,则判符合规定。(采样点≤9个) 3.凡是1、2规定不相符合,洁净工作台检测报告,则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁净级别,≥0.5um:......
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