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内容摘要：
厦门绿恒创机电工程有限公司是闽南地区主流的无尘室整体工程承建商之一，作为无尘室系统工程建设的代表。公司主营微电子、光电显示、太阳能、半导体、精密机械、光学仪器、GMP制药、生物工程、食品、化妆品、精细化工、实验室、医院手术室等。1、光刻设备尺度问题。在微电子技术工艺中为关键的设备为光刻机（曝光工具），此设备的制造过程复杂、成本高且其精密度要求较高，而设备分辨率以及焦深都会影响光刻技术的应用，当尺寸推进至0.05um且停滞较长时间后则会引起集成电路无法的进入纳米时代。 厦门绿恒创机电工程有限公司是闽南地区主流的无尘室整体工程承建商之一，作为无尘室系统工程建设的代表。公司主营微电子、光电显示、太阳能、半导体、精密机械、光学仪器、GMP制药、生物工程、食品、化妆品、精细化工、实验室、医院手术室等。是当今世界上非常流行的一种新型轻体地面装饰材料，也称为“轻体地材”。是一种在欧美及亚洲的日韩广受欢P......
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