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内容摘要：
真空泵选用的方法：1、工艺要求达到的真空度真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100pa(压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果压强要求3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真......
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