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内容摘要：
半导体净化车间设计的设计范围半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），天津芯片厂车间装修，暖通方案（空调设备、风管、水管等），芯片厂车间装修设计，特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、EP级管道及BA管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，芯片厂车间装修施工，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，......
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