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内容摘要:
无锡吉致电子25年研发生产——浅槽隔离抛光液/STI Slurry抛光液/浅沟槽隔离化学机械抛光液/浅沟槽隔离Slurry/浅槽隔离研磨抛光液/STI浅槽隔离平坦化抛光液slurry/浅沟槽隔离抛光液抛光浆料slurry/吉致电子STI抛光液
产品简介:STI Slurry 适用于集成电路当中的铜互连工艺制程中铜的去除和平坦化。
具有高的铜去除速率......
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