北京微纳光科仪器（集团）有限公司

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内容摘要：如何定义位移台的度精度是指系统针对命令输入或理想输入的输出，更直观的说应该叫不确定度。当要求一个运动系统运动 10mm，而实际上只运动了 9.99mm，手动组合台价格，则不确定度是 0.01mm。位移台的轴线和测量尺的轴的角度误差会导致一个与角度呈余玄关系的单调递增误差，这就是常说的余玄误差；精度是指对相同输入，覆盖 9......

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