内容摘要:
平移台压电马达驱动; 无回程间隙,内具刹车功能; 纳米级高分辨率及精度; 毫秒至亚毫秒级快响应速度,速度可达300毫米/秒; 长行程,重载型移动台公司,理论上无行程限制; 超薄设计,结构紧凑; 无磁,无油,无电磁干扰,真空兼容; 广泛应用于半导体设备、微纳加工、光电试验、生物疗治等领域。压电马达驱动;无回程间隙,内具刹车......
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