内容摘要:
空气洁净度等级1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器。环境温度洁净室区的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应。2、采样点的位置及数量a.测定洁净度的每次采样量;b.每个洁净区采样次数为3次,当洁净区仅有一个采样点时,则在该点至少采样3次;d.对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境采样量很大可采用ISO14644-1附录F规定的顺序采样法。3、技术要求①每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值;②全部采样点的平均粒子浓度N的95%置信上限值应小于或等于洁净等级规定的限值。 在静态条件下洁净室(区)监测的悬浮粒子数、浮游菌数或沉降菌数必须符合规定。测试方法应符合现行《工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》GB/T 16292 、《工业洁净室(区)浮游菌的测试方法》GB/T 16293 和《工业洁净室(区)沉降菌的测试方法》GB/T16294 的有关规定;空气洁净度1......
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