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内容摘要: 企业视频展播,请点击播放视频作者:东莞市申瓯通信科技有限公司 由于组装前后敏感性变化很小,这甚至可以节省制造过程中的音频调试成本。目前,高灵敏全向麦克风供应商,集成电路工艺正越来越广泛地被应用在传感器及传感器接口集成电路的制造中。这种微制造工艺具有、设计灵活、尺寸微型化、可与信号处理电路集成、低成本、大批量生产的优点。麦克风在不同温度下的性能都十分稳定,不会受温度、振动、湿度和时间的影响。由于耐热性强,MEMS麦克风可承受260℃的高温回流焊,而性能不会有任何变化。 早期微型麦克风是基于压阻效应的,有研究报道称,制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜为敏感膜的麦克风。但是,出售高灵敏全向麦克风,在敏感膜内不存在应力的情况下,这样大并且很薄的多晶硅膜的一阶谐振频率将300Hz。一阶谐振频率在这样低的频段范围内将导致麦克风在听觉频率范围内的频率响应极不均匀(灵敏度的变化量大于......
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