内容摘要:
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。 优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,净化工程价格,提高洁净室等级。 缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再活,净化工程报价,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。 按洁净室的气流流型划分国内外通常以气流流型划分洁净室类型。(一)单向流洁净室单向流洁净室的气流是从室内送风一侧平行、直线、平稳地流向相对应的回风侧,它是将室内污染源散发出的污染物在未向室内扩散之前就被洁净空气压出房间,送入的洁净空气对污染源起到隔离作用。单向流洁净室可分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。 (二)非......
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