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内容摘要：
镀减反射膜抛光硅表面的反射率为35%，为了减少表面反射，提高电池的转换效率，需要沉积一层氮化硅减反射膜。现在工业生产中常采用PECVD设备制备减反射膜。PECVD即等离子增强型化学气相沉积。它的技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，报废组件收购，然后通入适量的反应气体SiH4和NH3，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面......
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