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内容摘要：
扩散扩散是为电池片制造心脏，是为电池片制造P-N结，多晶硅组件多少钱，POCl3是当前磷扩散用较多的选择。POCl3为液态磷源，液态磷源扩散具有生产效率较高、稳定性好、制得PN结均匀平整及扩散层表面良好等优点。POCl3在大于600℃的条件下分解生成（PCl5）和（P2O5），PCl5对硅片表面有腐蚀作用，当有氧气O2存在时，PCl5会分解成P2O5且释放出，所以扩散通氮气的同时通入一定流量的氧气......
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