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浅谈圆筒直线电机有哪些常见问题圆筒直线电机是否适用于洁净室直线电机适用于洁净室。许多前端半导体使用都使用在圆筒直线电机,在晶圆制作工厂,光刻机放置在等级为10的洁净室里,圆筒直线电机使用于其间XY定位渠道,适用纳米分辨率来完成亚微米级精度。直线电机也使用在其它领域中,半导体后端包装、测验、硬盘的装配与测验等使用,都在洁净室里。在洁净室里,相比较传统的滚珠丝杠驱动,直线电机的驱动组织没有接触,因而没有磨损而导致粒子生成。圆筒直线电机不需要润滑剂,由于润滑剂也是污染源。 高精密圆筒直线电机安装要求一、 关于绝缘电阻的检查在使用直线电机之前,需要测量其线圈以及绝缘电阻。测量圆筒直线电机每个线圈与电机线圈外壳的绝缘电阻。可以使用绝缘电阻计量仪(500 VDC) 。判断圆筒直线电机的标准如下:绝缘电阻阻值100兆及以上 ......
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