内容摘要:
净化工程分为哪几类?复合式(Mixed Type)复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。乱流式(Turbulent Flow)空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室,并经过洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激1活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。 净化工程主要的技术特征和优点空调制冷迅速,节能显著:通常,洁净室的温度调节都是由空调将空气冷却后再送到洁净室。种方法需要大量风管 进行长距离送风,沿途阻力式损失和温度损失造成很大的能源损耗。此外,也有将空调机......
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