内容摘要:
光学微电子净化工程解决方案: 3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口 这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,万级洁净室,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。 净化工程解决方案:还有一个值得注意的问题是,近些年来我国南方如佛山、广州以及华东的上海、苏州等地冬季室外空气相对湿度较“规范”给出的室外空调计算相对湿度要低,例如:冬季室外计算相对湿度佛山无尘室、广州均为70%,上海和苏州为75%,而这些年实测的室外相对湿度有时只有30%左右,因此,建起来运行的洁净室的加湿量不足,室内相对湿度偏低,万级洁净室厂家,达不到设计要求。有的工厂为了简便和省钱,万级洁净室哪里有,在原空调器内增加湿膜或喷雾进行加湿以加大加湿量。......
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