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内容摘要：
设备用途：
扩散炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
产品描述：
◆软着陆载片装置
软着陆送料装置，避免了SiC桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。
◆温度控制
新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合温控仪的使用，保证工艺过程中温度的稳......
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