北京微纳光科仪器（集团）有限公司

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主营产品：真空仪器，平移台，位移台，滑台，机械臂等

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内容摘要：参数介绍1、偏摆/俯仰/滚转分别指的是沿TZ/TY/TX轴旋转的角度。2、背隙也称反向间隙/反冲间隙，指的是滚珠丝杆在反向的时候产生的间隙，背隙的存在会使得滑台反向运动时，伺服电机空转而工作台实际不运动，会影响位移台的单向和重复定位精度丝杠背隙的产生原因一般有以下几个原因：1）、没有预压或预压力不足2）、扭转位移过度3）......

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