北京微纳光科仪器（集团）有限公司

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内容摘要：真空系统检漏率应该如何降低？真空系统的结构是决定真空系统密封性和系统泄漏率的关键。真空系统的合理结构将与系统的密封性和系统的泄漏率直接相关。1.尽可能防止小曲率半径的盲区，光滑过渡检查刹车打磨抛光.清洗清理。2.抽空管路.与真空室相连的供气管道等管道采用弧形过渡，使气路畅通无阻，无磁转台公司，但要考虑清洗的便利性。3.认......

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