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内容摘要：
目前已推出的化学过滤器主要是：a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，洁净室工程公司，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，洁净室，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。至今，洁净室设计，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上. 无尘室工程净化车间洁净度净化车间洁净度是指洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的允许统计数，尘粒是病源微生物赖以生存和传播的媒介，尘粒的数量，大小和气流特性对菌落的检出数量有重要的影响，手术室存在不同......
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